GB/T 32996-2016
表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
GBT32996-2016, GB32996-2016
GB/T 32996-2016 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 32996-2016
- 别名
- GBT32996-2016
GB32996-2016 - 发布
- 2016年
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 32996-2016
- 引用标准
- GB/T 19502-2004 GB/T 20066-2006 GB/T 29559-2013
- 本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为1 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
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