T/SHDSGY 135-2023
新能源半导体硅片材料技术

New Energy Semiconductor Silicon Wafer Material Technology


 

 

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标准号
T/SHDSGY 135-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/SHDSGY 135-2023
 
 
适用范围
本文件规定了术语和定义、硅片技术要求、半导体硅片制作流程、试验方法、检验规格标志、包装、运输、贮存和质量证明书。 本文件适用于新能源半导体硅片材料技术。

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