ASTM F1617-98
用二次离子质谱法测量硅和外延衬底上表面钠铝钾铁的标准试验方法

Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry

 

 

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标准号
ASTM F1617-98
发布日期
1998年05月10日
实施日期
废止日期
无
发布单位
美国材料与试验协会

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