氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法, 您可以免费下载预览页
掺Mg量较小时,GaN∶Mg单晶膜呈现N型导电,得不到P型层;掺Mg量过大时,会形成与Mg有关的深施主,由于深施主的补偿作用,得不到高空穴浓度的P型GaN。二次离子质谱法可以分析从氢到铀的所有元素及同位素,具有很高的灵敏度,是检测镁掺杂量的一个重要手段。为了促进国内相关技术的提升,并使我国二次离子质谱定量分析技术规范化、标准化,特制定《氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法》。...
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