DIN 50441-3:1985
半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差

Testing of materials for semiconductor technology; measurement of the geometric dimensions of semiconductor slices; determination of flatness deviation of polished slices by means of the multiple beam interference


 

 

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标准号
DIN 50441-3:1985
发布
1985年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN 50441-3:1985
 
 

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