DIN 50441-3-1985
半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差

Testing of materials for semiconductor technology; measurement of the geometric dimensions of semiconductor slices; determination of flatness deviation of polished slices by means of the multiple beam interference

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标准号

DIN 50441-3-1985

发布日期

1985年09月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

DIN 50441-3-1985系列标准