GB/T 15872-1995
半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

GBT15872-1995, GB15872-1995

2014-05

标准号
GB/T 15872-1995
别名
GBT15872-1995, GB15872-1995
发布
1995年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 15872-2013
当前最新
GB/T 15872-2013
 
 
适用范围
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电源接插件、导线和电缆的要求。 本标准适用于半导体设备的电源接口。

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