DIN 50450-1:1987
半导体工艺材料的检验.载运气体和添加剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷电池测定氢、氧、氮、氩和氦中的水杂质
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
- 标准号
- DIN 50450-1:1987
- 发布
- 1987年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50450-1:1987-08
- 当前最新
- DIN 50450-1:1987-08
- 适用范围
- 该标准确定了半导体技术中使用的载气和掺杂气体（H2、O、N、Ar、He）中水杂质的测定方法。
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