GB/T 26250-2010
电子工业用气体 砷化氢
Gases for electronic industry.Arsine
GBT26250-2010, GB26250-2010
- 标准号
- GB/T 26250-2010
- 别名
- GBT26250-2010, GB26250-2010
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26250-2010
- 引用标准
- GB 14193 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 11640 GB/T 26571 GB/T 3723 GB/T 5832.1 GB/T 8984 《气瓶安全监察规程》
- 适用范围
- 本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。