DIN 50445-1992
半导体工艺材料检验.用涡流法无接触测定电阻率.均匀掺杂半导体片

Testing of materials for semiconductor technology; contactless determination of the electrical resistivity of semiconductor slices with the eddy current method; homogeneously doped semiconductor wafers

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标准号

DIN 50445-1992

发布日期

1992年04月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

适用范围

The standard defines the test method for the determination of the specific electrical resistivity of homogeneously doped semiconductor wafers.