GB/T 15871-1995
硬面光掩模基板
Hard surface photomask substrates
GBT15871-1995, GB15871-1995
- 标准号
- GB/T 15871-1995
- 别名
- GBT15871-1995, GB15871-1995
- 发布
- 1995年
- 采用标准
- SEMI P1-1992 NEQ
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 15871-1995
- 适用范围
- 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。