GB/T 16945-1997
电子工业用气体 氩

Gases for electronic industry--Argon

GBT16945-1997, GB16945-1997

2010-05

标准号
GB/T 16945-1997
别名
GBT16945-1997, GB16945-1997
发布
1997年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 16945-2009
当前最新
GB/T 16945-2009
 
 
适用范围
本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压,它还可用于化学气相淀积、溅射,等离子及活性离子 刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式:Ar 相对分子质量:39.948(按1991年国际相对原子质量)

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