GB/T 16945-2009
电子工业用气体.氩
Gas for electronic industry.Argon
GBT16945-2009, GB16945-2009
- 标准号
- GB/T 16945-2009
- 别名
- GBT16945-2009, GB16945-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16945-2009
- 引用标准
- GB/T 3723 GB/T 4842-2006 GB/T 5832.1 GB/T 8984
- 被代替标准
- GB/T 16945-1997
- 适用范围
- 本标准规定了氩的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷却法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。