DIN 50449-2:1998
半导体工艺材料试验.通过红外线吸收测定半导体中杂质含量.第2部分:砷化镓中的硼
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in semiconductors by infrared absorption - Part 2: Boron in gallium arsenide
- 标准号
- DIN 50449-2:1998
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50449-2:1998
- 适用范围
- 本文件规定的方法涵盖通过红外吸收法测定砷化镓中的硼含量。用于电阻率大于10cm6的半隔离单晶砷化镓。
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