JIS R 1636:1998
精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer

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标准号: JIS R 1636:1998
发布: 1998年
发布单位: 日本工业标准调查会
当前最新: JIS R 1636:1998

适用范围: この規格は,ファインセラミックス薄膜の膜厚を，触針式表面粗さ計によって試験する方法について規定する。適用できる陣厚の範囲は，10-10000nmとする。

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