BS EN ISO 14644-1:1999
洁净室和相关的控制环境.空气清洁度的分级

Cleanrooms and associated controlled environments - Classification of air cleanliness

被代替

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标准号

BS EN ISO 14644-1:1999

发布

1999年

发布单位

英国标准学会

替代标准

BS EN ISO 14644-1:2015

当前最新

BS EN ISO 14644-1:2015

 

 

被代替标准

96/126782 DC:1997 BS 5295 Part 1:1989

适用范围

ISO 14644 的这一部分涵盖了洁净室和相关受控环境中空气洁净度的分类，仅根据空气中颗粒的浓度进行分类。 仅考虑具有基于 0.1 μm 至 5 μm 范围内的阈值（下限）尺寸的累积分布的颗粒群来进行分类。 ISO 14644 的这一部分没有规定对超出指定粒径范围（0.1 μm 至 5 μm）的颗粒群进行分类。 超细颗粒（小于 0.1 μm 的颗粒）和大颗粒（大于 5 μm 的颗粒）的浓度可分别用于根据 U 描述符和 M 描述符来量化这些群体。 ISO 14644 的这一部分不能用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射性或活性性质。 注：颗粒浓度在增量尺寸范围内的实际分布通常是不可预测的，并且通常会随时间变化。

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