BS CECC 00013-1985
电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验已作废

Harmonized system of quality assessment for electronic components: basic specification: scanning electron microscope inspection of semiconductor dice

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标准号: BS CECC 00013-1985
发布日期: 1985年08月30日
实施日期: 1985年08月30日
废止日期: 无
中国标准分类号: L10;L40
国际标准分类号: 31.080.01;31.200
发布单位: 英国标准学会

适用范围: Describes equipment and procedures to be used for SEM inspection of discrete semiconductor devices and integrated circuits.

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