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芯片的观察要求电镜具备良好的低压分辨率、超低的畸变（便于图片拼接）、更快的成像速度。聚束科技高通量（场发射）扫描电子显微镜 NavigatorSEM设计思路源自于工业级半导体产线用电子束检测设备，从“基因”上具备此领域所需要的各项性能，并在关键指标上全面优于传统扫描电镜。芯片拼接全景图扫码关注我们联系方式｜4006 507 865邮箱｜contact@focus-ebeam.com...
最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。...
目前航天半导体器件失效分析中心已经引进2台光发射显微镜（PEM）设备，并初步掌握了集成电路微观缺陷定位技术。根据缺陷的实际情况，首先进行失效点的FIB定位，先使用光发射显微镜(PEM)确定失效点的大致位置，并用激光装置标记出来。新型的聚焦式离子束显微镜，目前基本都是双粒子束(Dual Beam)的机型(离子束+电子束)，在以离子束切割前，用电子束观察影像，而且电子束观察对样品一般不具有破坏性。...
广电计量拥有透射电子显微镜（TEM）、双束聚焦离子束（DB FIB）、扫描电子显微镜（SEM）等电子显微分析常用到的高端设备，在半导体显微分析相关领域具有丰富的经验，能够更好地服务我国芯片设计及制造企业，保障自主知识产权安全。...
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