JIS B9926-1991
净化间.因移动机械装置生成尘埃的试验方法

Clean room -- Test methods for dust generation from moving mechanisms

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标准号

JIS B9926-1991

发布日期

1991年03月01日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

Z32

国际标准分类号

13.040.30

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は，クリーンルームその他の清浄環境内で用いる機器(<上1>)の運動機構が運転時に発生する微粒子の大きさと数とを測定する方法について規定する。注(<上1>)生産機器，測定機器，ロポット，搬送機器など。