JIS B 9926:1991
净化间.因移动机械装置生成尘埃的试验方法

Clean room -- Test methods for dust generation from moving mechanisms


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标准号
JIS B 9926:1991
发布
1991年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS B 9926:1991
 
 
この規格は,クリーンルームその他の清浄環境内で用いる機器(<上1>)の運動機構が運転時に発生する微粒子の大きさと数とを測定する方法について規定する。注(<上1>)生産機器,測定機器,ロポット,搬送機器など。

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