ISO 14644-3:2005
洁净室和相关控制环境.第3部分:试验方法
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- 标准号
- ISO 14644-3:2005
- 发布
- 2005年
- 中文版
- GB/T 25915.3-2010 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 14644-3:2019
- 当前最新
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 引用标准
- ISO 7726:1998
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分规定了空气颗粒洁净度指定分类以及表征洁净室和洁净区性能的测试方法。 性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区：单向流和非单向流，在三种可能的占用状态：竣工状态、静止状态和运行状态。 测试方法推荐了用于确定性能参数的测试装置和测试程序。 如果测试方法受到洁净室或洁净区类型的影响，建议采用替代程序。 对于某些测试，建议使用几种不同的方法和设备来适应不同的最终用途考虑因素。 如果基于客户和供应商之间的协议，可以使用 ISO 14644 本部分中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的测量结果。 ISO 14644 的这一部分不适用于洁净室或独立设备中的产品或过程的测量。
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