BS EN ISO 14644-3:2005
洁净室和相关控制环境.试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments - Test methods

被代替

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标准号

BS EN ISO 14644-3:2005

发布

2005年

发布单位

英国标准学会

替代标准

BS EN ISO 14644-3:2019

当前最新

BS EN ISO 14644-3:2019(2020)

 

 

适用范围

ISO 14644-3:2005 规定了空气颗粒洁净度指定分类以及表征洁净室和洁净区性能的测试方法。 性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区：单向流和非单向流，在三种可能的占用状态：竣工状态、静止状态和运行状态。 ISO 14644-3:2005 不适用于洁净室或独立设备中的产品或过程的测量。

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