JB/T 10553-2006
真空技术.扩散硅压阻真空计

Vacuum technology.Plezoresistive silicon chip vacuum gauge

标准号

JB/T 10553-2006

发布日期

2006年05月06日

实施日期

2006年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

发布单位

CN-JB

引用标准

GB/T 191 GB/T 2829 GB/T 3369 GB/T 3370 GB/T 4982

适用范围

本标准规定了扩散硅压阻真空计（简称真空计）的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。 本标准适用于测量压力为（100～1×10⁵）Pa的扩散硅压阻真空计。

JB/T 10553-2006 中可能用到的仪器设备