GB/T 18682-2002
物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films
GBT18682-2002, GB18682-2002
- 标准号
- GB/T 18682-2002
- 别名
- GBT18682-2002, GB18682-2002
- 发布
- 2002年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 18682-2002
- 适用范围
- 本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。
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