JEDEC JEP132-1998
处理特性指南

Process Characterization Guideline

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标准号

JEDEC JEP132-1998

发布

1998年

发布单位

(美国)固态技术协会,隶属EIA

当前最新

JEDEC JEP132-1998

 

 

适用范围

过程表征是过程控制的基本要素。流程是用于生产给定产品或服务的特定工作活动的人员、程序、方法、机器、材料、测量设备和/或环境的组合。当正确定义和控制时，它是具有可测量输入和输出的可重复活动序列。过程的表征定义了过程或其输出的显着特征，可在其上收集变量或属性数据。因此，通过过程表征，制造商可以定义和测量过程的稳定性、可重复性、灵敏度和鲁棒性。此外，它还提供建模输入，可用于识别关键变量、优化效率和输出，并提供持续改进的途径。此外，一旦建立了过程特征，过程可预测性就可以用于自我验证而不是审核。管理支持对于过程表征系统的有效实施和维护至关重要。

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