ISO 3530:1979
真空技术 质谱仪型检漏仪校准
Vacuum technology; Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
- 标准号
- ISO 3530:1979
- 发布
- 1979年
- 中文版
- GB/T 18193-2000 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 3530:1979
- 适用范围
- 仅描述了具有集成高真空系统以将质谱仪的传感元件保持在低压的检漏仪。 概述了两个程序，一个用于确定最小可检测泄漏率，另一个用于确定最小可检测浓度比。
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