校准系统原理图由真空标准漏孔、漏孔隔离阀及氦质谱检漏仪组成,，漏孔温度由温度计测量。 1.2、校准仪器的选择 为了满足现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。...
根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。 检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成，而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。 电子半导体中几种常用的检漏方法 在半导体电子制造中，根据不同产品对密封的要求，多采用喷吹法、吸入法和加压法等检漏方法。 1....
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理和分析过程。...
结论 利用氦质谱检漏仪，采用相对比对法，可以对氦真空参考漏孔进行校准，满足测试要求精度较低的参考漏孔校准。...
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