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二、 基于硅光子学平台的三维影像传感器数字图像传感器主要是利用材料的光电转换性能,将感光面上的光信号转变为与光信号成相应比例关系的电信号,并进一步以数字量或数字编码的形式输出。其中,数字互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器使二维成像技术得到进一步的发展。作为一种典型的固体成像传感器,利用透镜将光线聚焦在探测器上形成图像,主要包括敏感单元阵列、行列驱动器、时序控制逻辑、AD转换器、数据端口。...
它们不与氧气反应,因此不会产生氧化物。许多制造商将陶瓷用作传感器基板。 四、传感器制造 微传感器技术使用了常规硅平面IC技术中遵循的基本制造步骤以及一些其他步骤。目前,互补金属氧化物半导体(CMOS)是微传感器中最chang用的技术。微传感器是使用商业CMOS IC工艺和随后的批量微加工技术设计和制造的,确切具体的步骤因传感器而异。 ...
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