GB/T 18994-2003
电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry--High purity chlorine
GBT18994-2003, GB18994-2003
2015-07
- 标准号
- GB/T 18994-2003
- 别名
- GBT18994-2003, GB18994-2003
- 发布
- 2003年
- 采用标准
- SEMI C3.32-1995 NEQ
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 18994-2014
- 当前最新
- GB/T 18994-2014
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。
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