GB/T 14601-1993
电子工业用气体 高纯氨
Gases for electronic industry. High purity ammonia
GBT14601-1993, GB14601-1993
2010-05
- 标准号
- GB/T 14601-1993
- 别名
- GBT14601-1993, GB14601-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14601-2009
- 当前最新
- GB/T 14601-2009
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 分子式：NH3 相对分子质量：17.031（按1989年国际相对原子质量）
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