(3) 微机械在各学科领域的应用研究由于MEMS产品结构的特殊性,对其生产过程中的材料、关键工艺的控制一直是国际上关注的热点,作为国际上最为活跃的MEMS标准化组织IEC/TC47/SC47F(MEMS分技术委员会)近年来制定一系列标准,如IEC 62047-17《半导体器件微电子微机械器件第17部分:薄膜材料的膨胀机械性能测量方法》、IEC 62047-18《半导体器件微电子微机械器件第18...
单光栅光谱仪非常高的光学信号透过率使得该课题组能探测从双层石墨烯、多层石墨烯到体石墨的强度极弱的低频剪切模,剪切模的峰位从体石墨的43cm-1 变到双层石墨烯的31cm-1。由于石墨烯剪切模的频率很低,声子能量只有5meV,远小于石墨烯G模0.2eV的声子能量,因此剪切模可以和石墨烯狄拉克点附近的低能电子激发发生显著的相互作用,使得多层石墨烯的剪切模显示出Fano线型。...
研究还发现,由于不同声子与不同电子态间的电声子相互作用不同,即使不同剪切模间的频率差异非常小,它们强度的共振线型和能量极值差别却很大。该项研究工作近期发表于Nature子刊系列《自然·通讯》(Nat. Commun. 5:5309 doi: 10.1038/ncomms6309 (2014))。谭平恒研究员为该论文通讯作者。 ...
层间剪切和呼吸声子模是多层石墨烯材料区别于单层石墨烯的独特声子振动模。近年来,中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室研究员谭平恒研究组利用自己发展的超低波数拉曼技术已分别在多层石墨烯和多层旋转石墨烯中观察到了层间剪切模式[Nature Materials 11, 294-300 (2012),Nat. Commun. 5:5309 (2014)]。...
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