芯片的观察要求电镜具备良好的低压分辨率、超低的畸变(便于图片拼接)、更快的成像速度。聚束科技高通量(场发射)扫描电子显微镜 NavigatorSEM设计思路源自于工业级半导体产线用电子束检测设备,从“基因”上具备此领域所需要的各项性能,并在关键指标上全面优于传统扫描电镜。芯片拼接全景图扫码关注我们联系方式|4006 507 865邮箱|contact@focus-ebeam.com...
导读显微分析技术重要的设备包括:光学显微镜(OM)、双束扫描电子显微镜(DB-FIB)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)。今天的文章将介绍DB-FIB的原理及应用,重点介绍广电计量DB-FIB的服务能力及DB-FIB应用于半导体分析相关的案例。...
最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。...
目前航天半导体器件失效分析中心已经引进2台光发射显微镜(PEM)设备,并初步掌握了集成电路微观缺陷定位技术。根据缺陷的实际情况,首先进行失效点的FIB定位,先使用光发射显微镜(PEM)确定失效点的大致位置,并用激光装置标记出来。新型的聚焦式离子束显微镜,目前基本都是双粒子束(Dual Beam)的机型(离子束+电子束),在以离子束切割前,用电子束观察影像,而且电子束观察对样品一般不具有破坏性。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号