由于其入射是X射线，发射出的荧光亦在X射线范围内， 因此又称它为二次X射线光谱分析。主要用于无机物财的常量元素分析。（2） 电子探针微区分析，它是以细电子束（探针）为激发光源进行X射线光谱分析的一种分析方法，又称电子探针X射线显微分析法。可测周期表中原子序数4~92的元素，可作表面无损分析。4．穆斯鲍尔光谱分析法它是利用原子核对X射线辐射的吸收性质建立起来的分析方法。主要用于研究化学键和晶体结构。...
（3）X射线荧光法X射线荧光法的分析原理是用X射线照射试样时，试样会被激发出荧光X射线，不同元素被激发出的荧光X射线的波长（或能量）不同，且射线强度与元素含量成正比。把混合的荧光X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的数值和射线的强度，可以进行定性和定量分析。X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。...
但由于影响荧光X射线的强度的因素比较多，除了待测元素的浓度外，仪器校正因子、待测元素X射线荧光强度的测定误差、元素间吸收增加效应校正、样品的物理形态等都对定量分析结果产生影响。因此，荧光光谱分析法的优缺点也同样明显。 光谱分析法的优点大致有5点： 1.分析速度快，分析精密度高，重现性好。 2.非破坏分析，是一种无损检测技术。 ...
在许多领域中，无论是少量或常量元素分析，其结果足与经典的化学分析法媲美,因而在常规分析中，X射线荧光分析法和原子吸收光谱法、等离子体光谱分析法一起，并列为仪器分析的主要手段。 X射线荧光分析法用于物质成分分析,具有若干独特的优点。...
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