ASTM F1527-00
硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南

Standard Guide for Application of Silicon Standard Reference Materials and Reference Wafers for Calibration and Control of Instruments for Measuring Resistivity of Silicon


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标准号
ASTM F1527-00
发布
2000年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F1527-02
当前最新
ASTM F1527-02
 
 
1.1 本指南涵盖了标准参考材料 (SRM) 在硅片电阻率测量中的应用。具体来说，本指南涵盖了如何使用这些 SRM 来制备电阻率参考晶圆以及确保用于制备它们的仪器的质量。 1.2 本指南尚未针对硅以外的电子材料的应用进行评估。 1.3 本指南涵盖了电阻率参考晶片材料的选择、准备和校准电阻率参考晶片的程序以及电阻率参考晶片在鉴定、校准和控制各种类型电阻率仪器中...

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