ASTM F1527-00
硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南

Standard Guide for Application of Silicon Standard Reference Materials and Reference Wafers for Calibration and Control of Instruments for Measuring Resistivity of Silicon


 

 

非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 ASTM F1527-00 前三页,或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准,点击右侧 “购买” 按钮开始采购(由第三方提供)。

点击下载后,生成下载文件时间比较长,请耐心等待......

 

标准号
ASTM F1527-00
发布
2000年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F1527-02
当前最新
ASTM F1527-02
 
 
1.1 本指南涵盖了标准参考材料 (SRM) 在硅片电阻率测量中的应用。具体来说,本指南涵盖了如何使用这些 SRM 来制备电阻率参考晶圆以及确保用于制备它们的仪器的质量。 1.2 本指南尚未针对硅以外的电子材料的应用进行评估。 1.3 本指南涵盖了电阻率参考晶片材料的选择、准备和校准电阻率参考晶片的程序以及电阻率参考晶片在鉴定、校准和控制各种类型电阻率仪器中...

ASTM F1527-00相似标准


推荐


谁引用了ASTM F1527-00 更多引用





Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号