JEITA EM3603B-2006
SOI晶片标准和度量衡学

Standard of SOI wafers and metrology


JEITA EM3603B-2006 中，可能用到以下仪器

 

SOI键合EVG®810 LT+EVG®301

SOI键合EVG®810 LT+EVG®301

上海螣芯电子科技有限公司

 

标准号
JEITA EM3603B-2006
发布
2006年
发布单位
JP-JEITA
 
 
本标准规定了MOS器件用薄膜SOI晶圆及其计量标准。

JEITA EM3603B-2006相似标准

GB/T 14264-2009 半导体材料术语 GB/T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置 T/ICMTIA BS0030-2022 集成电路材料产品分类 GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 STAS 7170-1987 度量衡．硬度标准块测定．技术和度量衡要求．标定

JEITA EM3603B-2006 中可能用到的仪器设备

石英晶体天平


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