3、面扫描分析电子束在样品表面作光栅扫描时,把X射线谱仪(波谱仪或能谱仪)固定在接收某一元素特征X射线信号的位置上,此时在荧光屏上便对得到该元素的面分布图像。图中亮区表示这种元素的含量较高。4、(定点)定量分析能谱仪在稳定的电子束照射下得到的X射线谱,在扣除背景计数率后,各元素的同类特征谱线的强度值与它们的浓度相对应。...
当晶体位于角时,晶体与光源之间的距离l总是等于2Rsinθ,将代布拉格方程(2dsinθ=nθ)得4、波谱仪的特点波长分辨率是很高的;x射线利用率很低;波谱仪不适于束流低、x射线弱的情况下使用。二、能谱分散仪(能谱仪,EDS )能量色散谱仪简称能谱仪,是利用特征X射线能量不同来展谱而进行成分分析的仪器。 ...
EPMA使用的X射线谱仪有波谱仪和能谱仪两类。 电子探针结构示意图 1、能谱仪 能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)。目前最常用的是Si(Li)X射线能谱仪,其关键部件是Si(Li)检测器,即锂漂移硅固态检测器,它实际上是一个以Li为施主杂质的n-i-p型二极管。 Si(Li)检测器探头结构示意图以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。 ...
X射线谱仪是电子探针的信号检测系统,分为:能量分散谱仪(EDS),简称能谱仪,用来测定X射线特征能量。波长分散谱仪(WDS),简称波谱仪,用来测定特征X射线波长。EDS常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。...
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