【摘要】详细介绍了低真空扫描电子显微镜的发展及其在质检和计量等工作中的应用情况，并对国家泵类产品质量监督检验中心引进的德国蔡司EVO 18型扫描电子显微镜的放大倍率进行了校正，结果表明，其放大倍率的误差小于0.5%，在质检及计量等工作中将发挥重大的作用。 ...
该方法可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量，实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源，有效减少电子束扫描成像过程中放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而实现对样品纳米结构的溯源测量。 该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制定、扫描电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参与国际长度比对等方面将起到重要作用。 ...
现在电子显微镜最大放大倍率超过300万倍，而光学显微镜的最大放大倍率约为2000倍，所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。 1931年，德国的克诺尔和鲁斯卡，用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器，并获得了放大十几倍的图象，证实了电子显微镜放大成像的可能性。...
放大倍数等于CRT面积与电子束在样品上扫描的面积之比，减小样品上扫描的面积，就可增加放大倍率。不同放大倍率在样品上扫描的面积见表24-1。图24-2 扫描电子显微镜主机结构示意表24-1 不同放大倍率在样品上扫描的面积电子束在样品上扫描的面积，由扫描线圈产生的激励磁场控制，可以连续调节，所以扫描电镜的放大倍率是可以连续调节的。样品室内除放置样品外，还安置信号探测器。...
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