ASTM E766-98
校准扫描电子显微镜的放大倍数

Standard Practice for Calibrating the Magnification of a Scanning Electron Microscope


 

 

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标准号
ASTM E766-98
发布
1998年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E766-98(2003)
当前最新
ASTM E766-14(2019)
 
 
适用范围
1.1 本实践旨在使用美国国家标准与技术研究所 (NIST) 校准样本标准参考材料 (SRM)484 来校准扫描电子显微镜 (SEM) 的放大倍数。由于真实放大倍数和SEM读数上指示的放大倍数之间的关系在不同放大倍数下可能不同，因此必须将这种做法应用于需要真实放大倍数的每个放大倍数。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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ASTM E766-98 中可能用到的仪器设备

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