JIS B8328-2009
真空技术.涡轮分子泵.性能特性的测量

Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics

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标准号

JIS B8328-2009

发布日期

2009年09月24日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

发布单位

JP-JISC

引用标准

JIS Z8126-2

适用范围

This Standard specifies the measurement methods for performance characteristics of turbomolecular pumps.