JIS B 8328:2009
真空技术.涡轮分子泵.性能特性的测量

Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics

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标准号: JIS B 8328:2009
发布: 2009年
发布单位: 日本工业标准调查会
当前最新: JIS B 8328:2009

引用标准: JIS Z 8126-2

适用范围: 本标准规定了涡轮分子泵性能特性的测量方法。

JIS B 8328:2009相似标准

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