ISO 14644-5:2004
洁净室和相关控制环境.第5部分:操作

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations

标准号

ISO 14644-5:2004

发布

2004年

中文版

GB/T 25915.5-2010 (等同采用的中文版本)

发布单位

国际标准化组织

当前最新

ISO 14644-5:2004

 

 

引用标准

ISO 14644-1:1999 ISO 14644-2:2000 ISO 14644-3 ISO 14644-4:2001 ISO 14698-1:2003 ISO 14698-2:2003

适用范围

ISO 14644 的这一部分规定了洁净室操作的基本要求。 它适用于那些计划使用和操作洁净室的人。 ISO 14644 的本部分不考虑与污染控制没有直接关系的安全方面，必须遵守国家和当地的安全法规。 本文件考虑了用于生产所有类型产品的所有类别的洁净室。 因此，它的应用范围很广，并没有解决个别行业的特定要求。 ISO 14644 的本部分未详细介绍洁净室内常规监测的方法和程序，但参考 ISO 14644-2 和 ISO 14644-3 监测颗粒，参考 ISO 14698-1 和 ISO 14698-2 监测微量元素。 有机体。

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