GB/T 14603-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-05-01 实施。
GB/T 14603-2009 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼的最新版本是哪一版?
最新版本是 GB/T 14603-2009 。
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质 为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
GB/T14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》规定:三氟化硼气体中四氟化硅的含量最好在20ppm以下。目前,气体中的硅含量的测定方法有很多种(如重量法、原子吸收光谱法、氟硅酸容量法等),硅钼蓝分光光度法存在诸多优点:如,操作简单、显色快速稳定、应用广泛等。...
根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号),由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...
GC-8800系列PDHID专用色谱仪以高灵敏度PDHID检测器为核心部件的气相色谱仪,除适用于氢、氦、氧、氩、氮、氨等常见高纯气体的痕量杂质,也适用于分析三氟化氮、六氟化硫、三氯化硼、三氟化硼、氧化亚氮、硅烷、磷化氢、高纯氯、5N氯化氢等电子气体分析。目前普遍采用原装的VICI氦离子化检测器和自动切换阀的配合建立完整的分析流程,一次进样即可完成常规杂质的分离和检测。...
三氟化硼,是一种无机化合物,化学式为BF3,为无色气体,溶于冷水、浓硫酸和多数有机溶剂,主要用作有机合成中的催化剂,也用于制造火箭的高能燃料。 三氟化硼,分子质量为67.81,是无色不燃也不助燃的气体,有窒息性。...
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