IEC 60204-33:2009
机械安全性.机器电动设备.第33部分:半导体制造设备要求

Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

标准号

IEC 60204-33:2009

发布

2009年

发布单位

国际电工委员会

当前最新

IEC 60204-33:2009

 

 

被代替标准

IEC 44/602/FDIS:2009

适用范围

IEC 60204的这一部分适用于与半导体制造设备相关的电气和电子设备，用于半导体的制造@测量@组装@和测试。注1：在本标准中，术语“电气”包括电气@电子@和可编程电子设备（即电气设备指电气@电子@和可编程电子设备）。注2：在本标准的上下文中，术语“人员”是指任何个人，包括由用户或其代理人指派和指导安装、使用和维护相关制造设备的人员。本标准涵盖的电气设备从电源与电气设备的连接点开始（见 5.1）@，并包括其安全安装的正确说明。注 3：关于建筑物内供电装置的要求@参见 IEC 60364 系列。本部分适用于额定供电电压不超过交流电（ac）1000V、直流电（dc）不超过1500V@且额定供电频率不超过1000V的电气设备或电气设备部件。超过200赫兹。对于更高的电压或频率@可能需要特殊要求。注 4：派生电压超过这些电源电压限值的电气设备属于本标准的范围。其中包括针对电气安全危害的保护措施以及针对非电气危害的电气联锁电路的要求。然而，它并不涵盖其他标准或法规所需要或要求的所有要求，以保护人员免受电气危险以外的危险（例如化学危险@机械危险@辐射危险）。每种类型的机器都有独特的要求，以提供足够的安全性。附加和特殊要求可适用于制造设备的电气设备： ?使用@过程@或产生潜在爆炸性物质； ？用于潜在爆炸性和/或易燃性环境； ？生产或使用某些材料时存在特殊风险； ？是起重机械（IEC 60204-32 涵盖）。本标准不包括制造设备的性能或功能特性的规范。该标准不涉及制造设备的排放（例如 EMF@噪声）对人类健康可能产生的影响。本标准未规定电磁兼容性（EMC）要求。

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