JIS B 9960-33:2012
机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 JIS B 9960-33:2012 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

JIS B 9960-33:2012

发布

2012年

发布单位

日本工业标准调查会

当前最新

JIS B 9960-33:2012

 

 

引用标准

IEC 60034-11-2004 IEC 60038 IEC 60072 IEC 60417 IEC 61508-3 IEC 61557-3-2007 IEC 61800-5-1-2007 JIS B 9700-2 JIS B 9705-1 JIS B 9706-1 JIS B 9706-2 JIS B 9706-3 JIS B 9712 JIS B 9961 JIS C 0445 JIS C 0446 JIS C 0447 JIS C 0448 JIS C 0617 JIS C 0920 JIS C 0922 JIS C 1010-1 JIS C 60364-4-41 JIS C 60364-4-43 JIS C 60364-6 JIS C 60695-11-10 JIS C 61558-1 JIS C 61558-2-6 JIS C 6950-1 JIS C 8201-3

适用范围

This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.

JIS B 9960-33:2012相似标准

推荐