JB/T 8945-2010
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant
JB/T 8945-2010 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- JB/T 8945-2010
- 发布日期
- 2010年02月11日
- 实施日期
- 2010年07月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 发布单位
- CN-JB
- 引用标准
- GB/T 191 GB/T 6070 GB/T 11164-1999 GB/T 13306 JB/T 1090 JB/T 1091 JB/T 1092 JB/T 7673
- 被代替标准
- JB/T 8945-1999
- 适用范围
- 本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10
Pa～1×10 pa范围的真空溅射镀膜设备。