JIS K0164-2010
表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深压型用方法

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon

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标准号

JIS K0164-2010

发布日期

2010年04月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

A43

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

JP-JISC

引用标准

JIS K0143-2000