ISO 25498:2010
微光束分析.解析电子显微测定法.透射式电子显微镜对选定区域进行电子衍射分析

Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Selected-area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope


标准号
ISO 25498:2010
发布
2010年
中文版
GB/T 18907-2013 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
替代标准
ISO 25498:2018
当前最新
ISO 25498:2018
 
 
引用标准
ISO/IEC 17025
适用范围
本国际标准规定了使用透射电子显微镜(TEM)进行选区电子衍射(SAED)分析的方法,以分析薄晶体样品的微米和亚微米尺寸区域。 此类样品可以以各种金属和非金属材料以及细粉末的薄片形式获得,或者通过使用提取复制品获得。 可通过此方法分析的样本中选定区域的最小直径取决于显微镜物镜的球面像差系数,对于现代 TEM 而言接近 0.5 μm。 当分析样品区域的直径小于0.5μm时,分析程序也可参考本国际标准,但由于球差的影响,图案中的一些衍射信息可以从外部产生由所选区域孔径定义的区域。 在这种情况下,如果可以的话,最好使用微衍射或会聚束电子衍射。 选区电子衍射方法的成功取决于对所产生的衍射图案进行索引的有效性,无论样品中的哪个轴与入射电子束平行。 因此,此类分析需要样本倾斜和旋转设施的帮助。 本国际标准适用于从晶体样品中获取 SAED 图案、索引图案和衍射常数的校准。

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