DIN EN ISO 14644-5:2005
洁净室和相关控制环境.第5部分:操作
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations (ISO 14644-5:2004); German version EN ISO 14644-5:2004
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-5:2005
- 发布
- 2005年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-5:2005-03
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-5:2005-03
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-5:2001
- 适用范围
- 国际标准 ISO 14644 的这一部分规定了操作洁净室和相关受控环境的基本要求，以满足其洁净度水平。该洁净室标准没有指定洁净度级别，也没有指定达到所需级别的方法或手段。然而，附件提供了进一步的指导。它适用于那些计划使用和操作洁净室的人。#,,#
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