VDI 2083 Blatt 8.1-2009
洁净室技术 洁净室空气的分子污染（AMC）
Cleanroom technology - Molecular contamination of cleanroom air (AMC)
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 8.1-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 替代标准
- VDI 2083 Blatt 8.1-2014
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 8.1-2014
- 引用标准
- DIN EN 779:2003 DIN EN 779:2009 DIN EN ISO 1 DIN EN ISO 13485:2007 DIN EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 14644-2:2001 DIN EN ISO 14644-3:2006 DIN EN ISO 14644-4:2003 DIN EN ISO 14644-5:2005 DIN EN ISO 14644-6:2007 DIN EN ISO 14644-7:2005 DIN EN ISO 9001:2008
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 14-2008
- 适用范围
- 本指南涉及洁净室中化学污染的控制和测定，以保护过程、产品和人员。它规定了洁净室中化学污染的处理、处理、避免和减少的一般原则。这些原则基于已建立和可用的技术解决方案的性能特征以及这些解决方案的经济特征。应明确指出，空气以外的介质也可能受到 AMC 形式的污染，从而影响过程、产品和人员。对于水、水溶液、进一步加工液体和加工气体尤其如此。这些介质的化学污染会对所有相关生产行业产生影响，例如半导体、光学、食品和奢侈食品、制药、基因和医疗工程行业。然而，液体和气体过程介质中的分子污染不在本指南的范围内。本指南的范围包括相关行业的所有生产和储存区域，这些区域处于洁净室条件下，产品和工艺可能受到AMC的影响。
VDI 2083 Blatt 8.1-2009相似标准
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